臭氧半導體傳感器是一種將臭氧氣體的成份、濃度等信息轉換成可以被人員、儀器儀表、計算機等利用的信息的裝置。它是利用半導體材料的特性，當臭氧氣體吸收到半導體材料上時，會發生氧化和還原反應，產生熱量改變元件的溫度，從而改變電阻，將臭氧濃度轉換為電信號，并測量臭氧濃度。

半導體臭氧傳感器具有靈敏度高、選擇性好、響應速度快、壽命長、對濕度敏感低和電路簡單等優點，但它也有一些不足之處，例如需要工作于高溫下、對氣味或氣體的選擇性差、元件參數分散、穩定性不夠理想、功率要求高等。

根據不同的檢測原理，臭氧傳感器一般可分為紫外線、半導體、電化學三大類型。其中，紫外線傳感器雖然可以實現臭氧的檢測，但由于其靈敏度較低、易受光源影響等缺點，已經逐漸被其他類型的傳感器取代。

半導體臭氧傳感器是目前應用最廣泛的臭氧傳感器之一，它具有制造簡單、成本低廉、靈敏度高、響應速度快、壽命長等優點。該傳感器的工作原理是利用氣敏半導體材料吸收臭氧后發生氧化還原反應，改變元件的溫度和電阻，將臭氧濃度轉換為電信號。半導體臭氧傳感器有多種類型，包括單電阻式、雙電阻式、溫度補償式等，其中溫度補償式傳感器的靈敏度和選擇性較好，但其工作溫度范圍較窄。

電化學臭氧傳感器基于電化學原理，通過在傳感器的工作電極和對電極上產生相應的氧化還原反應，釋放電荷并形成電流，從而實現對臭氧濃度的測量。電化學臭氧傳感器具有快速響應、高靈敏度、寬測量范圍等優點，但其制造成本相對較高，而且對濕度敏感。

總的來說，臭氧半導體傳感器具有靈敏度高、選擇性好、響應速度快、壽命長等優點，但也存在一些不足之處，因此需要根據具體的應用場景和要求來選擇合適的傳感器類型。