物聯網技術中的關鍵技術之一就是傳感器技術。目前，MEMS傳感器已經廣泛應用在物聯網中的各個領域之中。近幾年，MEMS傳感器的銷售額一直保持著穩步的增長。隨著消費電子、汽車電子產品等下游行業的快速發展、全球電子整機產業以及硬件創新市場逐漸向中國轉移，中國市場對于MEMS元器件的需求增速，遠高于全球MEMS市場的增速。

MEMS中的核心元件一般包含兩類：一個傳感器或執行器，以及一個信號傳輸單元。傳感器將外界信號轉換為電信號，執行器與外界產生作用，信號傳輸單元能夠對信號進行處理以及與其他微系統連接。此類傳感器具有體積小、重量輕、功耗低、可靠性高、靈敏度高、易于集成等優點，在諸多領域中具備傳統的機械傳感器所難以比擬的比擬的優勢。

產品概述

精訊暢通推出的數字量MEMS氣體傳感器是利用MEMS工藝在SI基襯底上制作微熱板，所用氣敏材料是在清潔空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體材料。當環境空氣中被檢測氣體存在時傳感器電導率發生變化，該氣體濃度越高，傳感器的電導率就越高。在這種情況下，只需使用較為簡單的電路，即可將電導率的變化轉變為電流的變化，進而生成與該氣體濃度相對應的輸出信號。

該氣體傳感器采用數字量進行檢測數據的傳遞，該數據傳輸模式抗干擾性能好，同時不會因阻抗匹配問題影響測量的準確度，并且輸出數據更便于計算機系統進行數值運算分析，輸出數值不易產生附加誤差。

產品亮點

1.微型化設計。產品體積小、諧振頻率高、功耗低、響應速度更快，同時，MEMS傳感器表面體積比高的特性，也意味著傳感器的敏感程度更高。

2.高度集成。不同功能、不同敏感方向或致動方向的多個傳感器和執行器，可以被集成于一體，形成高效、多功能的微傳感器陣列或微執行器陣列，在小體積狀態下實現更多功能。

3.高溫、低溫環境下工作適應性良好。產品功耗較低，工作過程中基本不產生熱輻射，不會令周圍環境產生明顯的溫度濕度變化，不影響相關監測過程的進行。

4.抗震性好。MEMS傳感器體積小、重量輕，處于震顫狀態下時不易發生形變或移位現象，可保持檢測性能處在正常狀態下。

5.使用壽命長。

產品參數

可測氣體類型

使用注意事項

應用領域